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碳化硅研磨整形机
碳化硅研磨整形机
2023-10-19T14:10:52+00:00
详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 知乎
常规的研磨工艺一般分为粗磨和精磨。 1)常规双面磨工艺 目前国内较多的碳化硅衬底厂商已经在规模化生产的工艺方案。 a)粗磨：采用铸铁盘+单晶金刚石研磨液双面研磨的方式我们的高质量碳化硅 (SiC) 箔和研磨纸提供了有效且可靠的研磨解决方案，可处理多种不同的材料和任务。 磨石和金刚石研磨盘 我们的各种研磨表面可以为任意材料提供高去除率研 Tegramin 研磨和抛光设备 Struers2022年12月15日 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。截至 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽 2023年3月2日 碳化硅单晶具有优异的热、电性能，在高温、高频、大功率、抗辐射集成电子器件领域 有着广泛的应用前景。碳化硅硬度高、脆性大、化学性质稳定，传统加工方 半导体行业专题研究报告：半导体切磨抛装备材料的 在国家有关部委和中国科学院科技促进发展局的支持下，中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部在系统掌握气相组分在籽晶诱导下结晶过程规律的基础上，近期研制成功新 上海硅酸盐所碳化硅晶锭制备与晶圆片加工研究和
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